硅芯炉>> 您的位置: 首页 > 高端装备事业部 > 硅芯炉
产品名称:硅芯炉
电源电压:380v
电源频率:50hz
电源相数:3相

1. 设备概况
JX-300硅芯炉适合于多晶还原炉电极导体暨籽晶的生长,在低真空状态下充入氩气或氢气(不流通)利用高频线圈区域加热晶体母材使之产生溶池,用夹持籽晶的软轴引晶,拉制直径8毫米的晶棒供给多晶还原炉生产所需,JX-300硅芯炉可生产长2600毫米的硅芯。
 
2. 技术参数

 

项目
参数
原料规格
Ф40×400
成品规格
Ф8×2200㎜、 Ф8×2600
加热电源
(2.0-2.5MHz) 30kW、70kVA
真空度
3Pa
炉体总高
5100mm/5300mm
炉体重量
2500kg

 

 

版权所有:北京京运通科技股份有限公司 京ICP备05080009号 技术支持: 35互联