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产品名称:区熔炉
电源电压:380v
电源频率:50hz
电源相数:3相

1.设备概况:

JQ-900型区熔单晶生长炉是集机、光、电一体化的大型高可靠性、高精度、高自动化的单晶生长设备,整机性能指标达到同类产品国际先进水平。主要生产6-8英寸大规格区熔单晶硅,单晶长度最大可达2500mm,单晶纯度可达99.99999999%,,其晶片主要用于IGBT芯片、可控硅、红外探测器以及航天航海等尖端科技领域,另外凭其23%的光电转换效率,我们还可以大胆偿试将其用在光伏发电领域。

 

2.技术参数

1.

主炉室

内炉堂直径[mm]

Φ902X1190高

2

上副室

炉膛直径[mm]

Φ500 X1800高

3

下副室

炉膛直径[mm]

Φ500 X2500高

4

上传动

行程[mm]

2000

5

下传动

主轴行程[mm]

2600

6

平动组件

行程[mm]

±25

7

槽路组件

行程[mm]

530

8

反射环

行程[mm]

50

快速移动速度[mm/min]

20

9

预热环组件

行程[mm]

285

快速移动速度[mm/min]

100

10

制备外形

长X宽X高[mm]

6600X4200X14000

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